離子束拋光是通過面形誤差進行確定性修形拋光的一種工藝，光學元器件面形誤差在波長范圍內應用離子束加工，在技術上是合理的。在一次迭代拋光工序后，我們可獲得去除效率，之后的迭代加工會更加精準，直到達到客戶最終理想要求。迭代次數由表面的面形誤差決定，低頻誤差可通過大束徑離子束快速修正。中高頻誤差則選用更小束徑離子束修正。

離子束加工案列

1、材料：石英

   工件特征：平面，直徑70mm。

   客戶要求：rms≤λ/100

   結論：初始面形Rms0.061λ經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.007λ，實現rms值提升8倍的改善效率。

2、材料：石英

   工件特征：平面，直徑100mm。

   結論：初始面形Rms2.687nm經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.95nm，實現rms值提升3倍的改善效率。

3、材料：單晶硅

   工件特征：平面，直徑140mm。

   客戶要求：rms≤λ/50

   結論：初始面形Rms0.06λ經過一次迭代加工面形收斂至Rms0.02λ，實現rms值提升3倍的改善效率。

4、材料：藍寶石

   工件特征：平面，直徑260mm。

   客戶要求：S1、S2面  rms≤λ/25

   結論：初始面形S1：Rms0.265λ經過二次迭代加工面形收斂至Rms0.039λ。

   初始面形S1：Rms0.135λ經過二次迭代加工面形收斂至Rms0.022λ。

第一次迭代加工

第二次迭代加工

藍寶石加工照片

   材料：微晶

   客戶要求：rms≤λ/30

   工件特征：非球面，直徑280mm，R值為-1190.62mm，K為-1.248。

   結論：初始面形Rms0.276λ經過三次迭代加工面形收斂至Rms0.029λ。

加工前后面形變化

加工過程面形變化

非球面加工照片