加工能力
（最大工件尺寸）

1300mm×1300mm
厚度500mm

X軸行程

≥1300mm

Y軸行程

≥1300mm

Z軸行程

≥300mm

離子源

德國射頻離子源

中和器

德國

最大束電壓

2000V

最大束電流

1000mA

束流密度測量

法拉第杯/探針

陰極Tip壽命

150-1000 hours

去除函數

高斯型、穩定性≥95%

工作真空

5×10^-3pa

工作真空建立時間

≤1.5 hours

副室真空建立時間

≤30 min

X軸最大運動速度

8m/min

Y軸最大運動速度

8m/min

Z軸最大運動速度

5m/min

運動軸重復定位精度

≤±0.01mm

保護功能

具備意外斷電、斷水、斷氣故障報警保護、運動系統故障保護、離子源故障保護等

智能功能

具備智能一鍵開機、一鍵停機、定時預約加工、遠程控制、日志等功能。

外形尺寸

長寬高：6×5×3m

整機重量

15噸

能耗功率

Max:26KW  Avg:8KW